实用新型已授权

一种掩模版表面缺陷检测装置

Name: 一种掩模版表面缺陷检测装置
Brand: 无锡灿晶微电子科技有限公司
SKU: 2022232144904
Price: 1950.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202223214490.4 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2022-12-02

公开号

CN219392466U

公开日

2023-07-21

申请人

无锡灿晶微电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F1_84

IPC 分类号

G03F1_84

技术画像

所属领域

检测装置表面缺陷检测光学检测机器视觉检测装置

应用场景

半导体制造, 光掩模制造, 平板显示制造, 微电子加工

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摘要

本实用新型涉及建筑工程施工质量检测技术领域，尤其涉及一种掩模版表面缺陷检测装置，包括：检测壳体，检测壳体的沿其长度方向上的一端设有开口，检测壳体的另一端设有探针伸出孔，检测壳体周壁上设有可视窗口；推杆，推杆沿检测壳体的开口穿设于检测壳体内，推杆可沿检测壳体长度方向活动，推杆的底部设有探针安装部，推杆上设有数据展示部，数据展示部对应设在可视窗口内；探针，探针安装在推杆底部的探针安装部上，探针伸出孔可供探针穿过。本实用新型的掩模版表面缺陷检测装置，增加探针的稳固性，通过推动推杆运动，探针穿过厚型涂料到达钢构件基材表面，探针推入的深度能很直观地在刻度量程范围内读出，检测过程操作简单，测量结果直观显示，测量结果准确。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219392466U

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 1950.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种汽车零部件加工用焊接工装

当前第 / 件

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