实用新型已授权

UT掩模版专用打磨装置

📄 申请号：CN202021070576.2 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2020-06-11

公开号

CN213289738U

公开日

2021-05-28

申请人

无锡灿晶微电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B19_00

IPC 分类号

B24B19_00 , B24B41_06 , B24B47_22 , B24B47_20 , B24B41_04 ,

技术画像

所属领域

打磨装置掩模版加工精密打磨半导体制造设备打磨装置

应用场景

半导体制造, 光刻工艺, 掩模版维护

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摘要

本实用新型公开了一种UT掩模版专用打磨装置，涉及电表显示屏技术领域，为解决对UT掩模版的边角进行打磨时，通常需要对UT掩模版两侧进行垫高，从而使边角可以与打磨设备相接触进行打磨，在打磨过程中产生的振动会导致UT掩模版松动，使打磨位置发生偏差，打磨质量不佳的问题。所述工作台的下方设置有步进电机，所述步进电机输出端的上方设置有转轴，所述转轴的上方设置有打磨台，所述转轴的外部设置有套环，且套环与转轴通过螺钉连接，所述套环的上方设置有第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆设置有两个，且第二电动伸缩杆的一端与套环通过螺钉连接，所述第二电动伸缩杆的另一端与打磨台转动连接，且两个第二电动伸缩杆关于转轴对称设置。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

精密石英玻璃切割装置

当前第 / 件

一种发动机防护板加工切割装置

同领域国内专利 · IPC: (B24B19_00)

B24B19_00 B24B19_02 B24B19_03 B24B19_04 B24B19_06 B24B19_08 B24B19_09 B24B19_11 B24B19_12 B24B19_14 B24B19_16 B24B19_20 B24B19_22 B24B19_24 B24B19_26 B24B19_28 覆盖16个领域

¥1700.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：30 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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