实用新型已授权

精密石英玻璃切割装置

📄 申请号：CN202021070581.3 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2020-06-11

公开号

CN213166185U

公开日

2021-05-11

申请人

无锡灿晶微电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B28D1_04

IPC 分类号

B28D1_04 , B28D7_02 , B28D7_00 ,

技术画像

所属领域

玻璃切割切割设备精密加工石英玻璃加工切割装置玻璃切割

应用场景

光学器件制造, 半导体制造, 光伏组件制造, 精密仪器制造

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摘要

本实用新型公开了精密石英玻璃切割装置，涉及切割装置结构技术领域，为解决现有的精密石英玻璃切割装置在切割石英玻璃的时候，不能有效的对玻璃切割产生的玻璃粉尘进行去除的问题。所述切割台的上方安装有支撑座，所述支撑座的上方安装有直线导轨，所述直线导轨的一端安装有滑动座，所述滑动座的下方安装有切割电机，所述切割电机的一端安装有锯片安装座，所述锯片安装座的内部安装有锯片，所述锯片的一侧外壁上安装有固定卡，所述固定卡的一侧安装有喷枪，所述喷枪的一端安装有喷嘴，所述滑动座的上方安装有固定座，所述固定座的上方安装有微型抽水泵，所述切割台的下方安装有集水箱，所述集水箱的下方设置有出水口。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

精密石英玻璃用清理装置

当前第 / 件

UT掩模版专用打磨装置

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