发明专利 已授权

一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法

📄 申请号:CN202210821195.0 📄 发布日:2026/02/04

著录项目信息

申请日
2022-07-12
公开号
CN115323361B
公开日
2024-04-02
申请人
安徽建筑大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

智能玻璃, 光电器件, 传感器, 储能器件, 红外隐身

摘要

本发明公开了一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法,采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜,其技术特征如下:以一定的摩尔比配制硫酸氧钒和乳酸的混合溶液,于室温下搅拌使其充分络合,使用氨水调节络合溶液的pH值在3.2~4.4范围,之后放入表面洁净的玻璃等基板,沉积反应温度控制在60℃~90℃范围,沉积反应一定时间后即获得的纳米片状前驱体薄膜;所得前驱体薄膜在一定氮气流速下,于一定温度下退火后即得纳米片状VO2薄膜。本发明提供了一种反应温度低、基底要求低、能耗低、可大面积成膜的纳米片状VO2薄膜制备方法。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:177 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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