发明专利已授权

一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法

📄 申请号：CN202210821195.0 📄 发布日：2026/02/04

著录项目信息

申请日

2022-07-12

公开号

CN115323361B

公开日

2024-04-02

申请人

安徽建筑大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C18_12

IPC 分类号

C23C18_12 , B82Y30_00 , B82Y40_00 , C01G31_02 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料纳米材料相变材料

应用场景

智能玻璃, 光电器件, 传感器, 储能器件, 红外隐身

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摘要

本发明公开了一种可相变的纳米片状VO2薄膜的制备方法，采用低温液相沉积法合并氮气气氛热处理制备纳米片状VO2薄膜，其技术特征如下：以一定的摩尔比配制硫酸氧钒和乳酸的混合溶液，于室温下搅拌使其充分络合，使用氨水调节络合溶液的pH值在3.2~4.4范围，之后放入表面洁净的玻璃等基板，沉积反应温度控制在60℃~90℃范围，沉积反应一定时间后即获得的纳米片状前驱体薄膜；所得前驱体薄膜在一定氮气流速下，于一定温度下退火后即得纳米片状VO2薄膜。本发明提供了一种反应温度低、基底要求低、能耗低、可大面积成膜的纳米片状VO2薄膜制备方法。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种磁悬浮列车线缆用相变控温护套材料及其制造方法

当前第 / 件

一种分层冻结与注浆加固效果实时监测方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：150 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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