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专利详情
实用新型
已授权
一种扫描电子显微镜控温载物装置
📄 申请号:CN202520312888.6
📄 发布日:2026/01/20
著录项目信息
申请日
2025-02-26
公开号
CN223809107U
公开日
2026-01-16
申请人
山东大千检测有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
H01J37_20
IPC 分类号
H01J37_20
,
H01J37_28
,
G01N23_2204
,
G01N23_2251
,
技术画像
所属领域
扫描电子显微镜
扫描电子显微镜
温度控制装置
样品载物装置
应用场景
材料微观分析, 半导体检测, 科学研究实验, 工业质量控制
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摘要
本实用新型公开了一种扫描电子显微镜控温载物装置,涉及显微镜技术领域,包括样品底盘,所述样品底盘上固定安装有冷却室,所述冷却室的顶部螺纹安装有冷却盖,所述冷却盖的顶面固定安装有载物台,所述冷却盖上均匀开设有多个导气孔,所述载物台上设置有温度传感器,所述冷却盖内设置有控温组件,本实用新型通过温度传感器检测载物台的温度,并反馈至扫描电子显微镜的控制系统进行判断,是否快要超出生物样品所需的冷却温度范围,若即将超出,可通过驱动电机驱动面齿轮转动,啮合直齿轮带动螺纹杆转动,从而使挡板可沿滑槽滑动,将导气孔逐渐遮挡或打开,通过控制导气孔的大小实现对冷却温度进行控制,以适用不同生物样品。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种便于安装的散热片底座结构
当前第 / 件
一种农副产品用消毒装置
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H01J37_02
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覆盖
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