实用新型 已授权

一种扫描电子显微镜控温载物装置

📄 申请号:CN202520312888.6 📄 发布日:2026/01/20

著录项目信息

申请日
2025-02-26
公开号
CN223809107U
公开日
2026-01-16
申请人
山东大千检测有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

材料微观分析, 半导体检测, 科学研究实验, 工业质量控制

摘要

本实用新型公开了一种扫描电子显微镜控温载物装置,涉及显微镜技术领域,包括样品底盘,所述样品底盘上固定安装有冷却室,所述冷却室的顶部螺纹安装有冷却盖,所述冷却盖的顶面固定安装有载物台,所述冷却盖上均匀开设有多个导气孔,所述载物台上设置有温度传感器,所述冷却盖内设置有控温组件,本实用新型通过温度传感器检测载物台的温度,并反馈至扫描电子显微镜的控制系统进行判断,是否快要超出生物样品所需的冷却温度范围,若即将超出,可通过驱动电机驱动面齿轮转动,啮合直齿轮带动螺纹杆转动,从而使挡板可沿滑槽滑动,将导气孔逐渐遮挡或打开,通过控制导气孔的大小实现对冷却温度进行控制,以适用不同生物样品。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H01J37_20)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:101 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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