发明专利已授权

一种超低湿露点仪及其温度控制方法

📄 申请号：CN201811062483.2 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2018-09-12

公开号

CN109085201B

公开日

2023-09-15

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N25_66

IPC 分类号

G01N25_66 , G05B11_42 ,

技术画像

所属领域

露点测量露点测量温度控制精密仪器

应用场景

半导体制造, 工业气体检测, 干燥设备, 气体质量监控, 实验室分析

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摘要

本发明公开一种超低湿露点仪及其温度控制方法，属于气象检测技术领域。包括主控模块、制冷模块、测温模块、光学模块，主控模块与其他各模块相连，主控模块包括stm32微控制器、功率桥堆、通信电路，制冷模块由四级半导体制冷片堆叠而成四级制冷堆，测温模块由高精度温度计构成，光学模块由激光器、光洁镜面、透镜、光电传感器组成，光学模块的光洁镜面放置于冷模块的四级制冷堆上，四级制冷堆放置于散热装置上。通过控制光强达到控温的效果，将反射光强输入动态PID控制器中，根据PID输出量改变占空比来控制四级制冷模块的制冷。具有可有效加快系统制冷速度、大大缩短露点温度测量时间、提高系统响应速度和测量精度、扩大露点仪测量范围等优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

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