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实用新型
已授权
一种正性光刻胶储存装置
📄 申请号：CN202321927589.0
📄 发布日：2025/12/18
著录项目信息
申请日
2023-07-21
公开号
CN220244049U
公开日
2023-12-26
申请人
住晶新材料科技(烟台)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B65D25_10
IPC 分类号
B65D25_10
,
B65D25_04
,
B65D81_05
,
技术画像
所属领域
储存装置
光刻胶
半导体材料
化学品储存设备
储存装置
应用场景
半导体晶圆制造, 光刻工艺, 电子化学品储存, 集成电路制造
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摘要
本实用新型适用于储存装置技术领域，提供了一种正性光刻胶储存装置，包括冰箱主体以及卡接在冰箱主体内部的若干支撑架；支撑架包括支撑板；支撑板表面设置有与放置槽同轴心的弧形固定夹板；弧形固定夹板两端均设置有滑杆；两滑杆之间滑动设置有弧形移动夹板；弧形固定夹板周侧面对称设置有勾面层；弧形移动夹板两端对称设置有绑带；绑带侧面设置有与勾面层粘连的毛面层。该装置通过将绑带的毛面层粘接到弧形固定夹板上的勾面层上，实现对正性光刻胶瓶的稳定夹持，当支撑板移动至定位槽位置处时，在挤压弹簧的弹性作用力下，带动定位板从滑槽中滑出并插进定位槽中，实现了支撑架的固定，避免因运输过程中的晃动导致正性光刻胶瓶的倒塌掉出。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种板材加工用表面抛光机
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