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发明专利
已授权
一种基于微纳波导微形变探测装置
📄 申请号:CN202211171669.8
📄 发布日:2026/07/31
著录项目信息
申请日
2022-09-26
公开号
CN115615339B
公开日
2025-08-22
申请人
西安邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B11_16
IPC 分类号
G01B11_16
技术画像
所属领域
微纳波导器件
微纳波导器件
光学传感
形变检测
应用场景
结构健康监测, 精密工程测量, 航空航天结构监测, 微纳制造, 工业自动化
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摘要
本发明提供一种基于微纳波导微形变探测装置,包括贴附在待测物表面并能随待测物发生形变时自身引起变形的可形变接触部,可形变接触部内水平分布有与可形变接触部的底面相平行布置的微纳结构波导;微纳结构波导包括呈线性阵列分布并能够在可形变接触部变形时发生波导周期变化的光栅波导以及与光栅波导相垂直布置的直波导;光栅波导的一端为光信号输入端,另一端为反射端,直波导垂直设置在靠近光栅波导的光信号输入端的栅区附近,直波导远离光栅波导的一端为信号输出端。本发明具有结构简单、探测灵敏度高的优点,在微形变探测领域具有良好的应用前景。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种工业智能机器人手臂(工业机器人 自动化加工 物料加工 产品加工 输送设备 夹取手臂)
当前第 / 件
一种含有芹菜籽挥发油的组合物、面霜及面霜的制备方法
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