发明专利已授权

一种集成电路板蚀刻机

📄 申请号：CN202410898790.3 📄 发布日：2026/04/17

著录项目信息

申请日

2024-07-05

公开号

CN118632446B

公开日

2025-01-28

申请人

珠海嘉钡电子有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05K3_06

IPC 分类号

H05K3_06

技术画像

所属领域

集成电路板蚀刻设备湿法蚀刻印刷电路板制造电路板蚀刻集成电路板

应用场景

印刷电路板制造, 集成电路制造, 电子元器件加工, 微电子制造, 表面处理

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明的一种集成电路板蚀刻机，包括蚀刻腔、基板电极、感应电极、气体注入管和自检机构，自检机构包括第一电动滑台、连杆、模拟基板、穿透板、磁性板、屏蔽块、第二电动滑台、电动推杆、穿行杆、卡接机构、主控单元和激光雷达，将模拟基板移动到基板电极上，而后第二电动滑台和电动推杆带动穿行杆伸入到屏蔽块的十字型槽中，卡接机构使穿行杆卡接，在控制对应的磁性板断电后，可以切断屏蔽块之间的连接，而后穿行杆可以带动屏蔽块移动，并在穿透板上形成凹槽，当进行等离子蚀刻时，等离子体可以从凹槽处穿过穿透板对模拟基板进行蚀刻，通过检测穿透板上的蚀刻槽的数据可以完成蚀刻机的自检，避免蚀刻机出现故障导致集成电路板的蚀刻出现偏差。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250128

✅ 授权

20240927

?? 实质审查的生效：

20240910

📄 公开

一种集成电路板阻焊板面丝印方法

当前第 / 件

一种渗透结晶防水涂料及其制备方法和应用

同领域国内专利 · IPC: (H05K3_06)

H05K3_00 H05K3_02 H05K3_04 H05K3_06 H05K3_10 H05K3_12 H05K3_18 H05K3_22 H05K3_24 H05K3_26 H05K3_28 H05K3_30 H05K3_303 H05K3_32 H05K3_34 H05K3_341 H05K3_36 H05K3_40 H05K3_42 H05K3_46 覆盖20个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：97 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)