微纳加工 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

发明已授权

本发明属于多晶硅绒面加工技术领域，具体涉及一种多晶硅表面陷光微结构的加工方法。该加工方法具体步骤如下：步骤一、配制腐蚀溶液，然后将多晶硅置于腐蚀溶液中进行化学腐蚀加工多晶硅表面；步骤二、启动超声相控阵列设备，超声相控阵列产生的超声波在腐蚀溶液中传播并产生声辐射力，所述声辐射力控制腐蚀溶液中的腐蚀粒子朝着聚焦区域集中，所述聚焦区域能偏转，所述聚焦区域的偏转采用相控阵超声波束的时空控制实现，能定向加工多晶硅表面，得到多晶硅表面陷光微结构。本发明的加工方法工艺简单，将化学腐蚀与超声相控阵列进行复合，并通过超声相控阵列声束的偏转和聚焦对多晶硅表面定位加工，适应性好。

📄 2016103214590 📂 H01L31_18 👤 杭州电子科技大学 📅 2016-05-16

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一种用于微纳加工的匀胶机用托盘

实用新型已授权

本实用新型公开了一种用于微纳加工的匀胶机用托盘，涉及匀胶机用托盘设备技术领域，包括托盘主体，所述托盘主体的内底部通过轴承转动安装有转轴，所述转轴的上端设置有真空吸块，所述真空吸块的表面上开设有吸孔，所述真空吸块的底部设置有真空仓，所述转轴的上端固定连接于真空仓的底部，所述转轴的内部开设有气道，所述气道的上端连通于真空仓。本装置通过在真空吸块上开设多组吸孔，吸孔连通于真空仓，通过多点吸附对加工部件进行固定，既保证了对加工部件的固定能力，又避免加工部件单点受力导致损坏，同时多个吸孔分摊了真空仓的吸力，能够避免单点吸力过大吸入胶水造成堵塞的问题。

📄 2022230351308 📂 B05C13_02 👤 南昌瀚宸新材料科技有限公司 📅 2022-11-15

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受让方：××新能源科技有限公司
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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
受让方：××生物医药有限公司
交易类型：转让
交易金额：¥1,200万

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SiC功率器件工艺专利

转让方：××半导体有限公司
受让方：××汽车电子集团
交易类型：转让
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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
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交易金额：¥50万/年

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一种用于微纳加工的匀胶机用托盘

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