专利交易市场

本实用新型涉及硅片称量领域，具体为一种适用于大尺寸硅片称重装置，包括电子秤，所述电子秤的上侧安装有固定板，所述固定板的底部四角处均通过连接块和电子秤的顶部固定连接。本实用新型通过固定板顶部四组支杆对硅片进行支撑，从而使得和硅片的接触面积较小，进而在称量的过程中，能够降低磨损，有效的保护了硅片，较为实用，适合广泛推广与使用。

本发明涉及精密测量技术领域，公开了一种基于量子干涉仪的厚度精密测量装置与方法，包括纠缠光子源、偏振分束器、反射镜组、单模光纤组。本发明根据Hong‑Ou‑Mande l(HOM)干涉曲线得到样品厚度。具体地，通过将样品的一半放置于光束覆盖范围内，会同时产生两处HOM凹陷，并且在两个HOM凹陷之间会出现一个凸起/凹陷。根据两端HOM凹陷的间距和中间凸起/凹陷的高度/深度分析计算出高精度(4.24nm内)的厚度信息。本发明的测量方法兼具大量程和高精度的优点，大量程由两处HOM凹陷提供,理论上量程可为任意值，高精度由中间的凸起/凹陷提供。本装置还具备较好的稳定性。此外，因为本发明使用的光源是超弱光，因而可以对生物活体样品和生物分子薄膜进行无伤害的测量。

本发明涉及智能数控技术领域，且公开了一种内循环式液压光电寻边器，包括密封针筒Ⅰ、夹持柄、密封针筒Ⅱ和固定连板，所述密封针筒Ⅰ顶端的中部与密封针筒Ⅱ的底端固定连接。该内循环式液压光电寻边器，通过密封针筒Ⅰ和密封针筒Ⅱ的设置，将测量杆对待加工件边侧位置的变化转化为固定连板电路的通断信号，利用发光二极管的亮灭来调整测量杆的具体位置，进而获得待加工件边缘的精确位置及数值，与现有的偏置式或光电式相比，该寻边器不会因使用者的主观因素而导致其精度发生变化，操作难度较低，而且不需要借助待加工件作为导电体，可以对任意材质的零件进行检测，检测精度高、适用范围广。