实用新型已授权

一种半导体高温烘箱

📄 申请号：CN202123368660.X 📄 发布日：2025/12/09

著录项目信息

申请日

2021-12-29

公开号

CN216880224U

公开日

2022-07-05

申请人

上海恒朵仪器科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B05D3_02

IPC 分类号

B05D3_02 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备热处理设备烘箱设备

应用场景

半导体制造, 晶圆热处理, 电子元器件制造

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摘要

本实用新型公开一种半导体高温烘箱，属于烘箱技术领域，其主要针对现有的半导体烘箱没有设置对半导体固定的装置的问题，提出如下技术方案,包括烘箱本体，烘箱本体内腔的底部设置有加热装置，加热装置的上方设置有固定组件，固定组件包括支撑架，支撑架的两端设置有第一固定架，支撑架的中部设置有第二固定架，第二固定架的两侧和两组第一固定架的相对面分别均匀设置有多组限位板，烘箱本体的一端设置有鼓风组件，箱门的一端与烘箱本体的一端铰链连接，箱门的另一端通过锁块固定在烘箱本体上，通过设置第一固定架和第二固定架上的限位板配合对多组半导体进行固定，固定方便，便于同时对多组半导体进行烘干，工作效率高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有阻燃功能的防静电二极管

当前第 / 件

一种人造石板材烘干固化装置

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