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专利详情
实用新型
已授权
一种高分辨率扫描电镜辅助装置
📄 申请号:CN202223431583.2
📄 发布日:2026/04/24
著录项目信息
申请日
2022-12-21
公开号
CN219457528U
公开日
2023-08-01
申请人
南京利源芯科技发展有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
H01J37_20
IPC 分类号
H01J37_20
,
H01J37_28
,
技术画像
所属领域
电子显微镜
电子显微镜
精密仪器
检测设备
应用场景
材料分析, 半导体检测, 纳米技术研究, 生物样品观察, 质量控制
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摘要
本实用新型涉及扫描电镜技术领域,尤其涉及一种高分辨率扫描电镜辅助装置,本实用新型的创新点是:固定设有智能照明灯,进而实现调整光照的不同位置且不同高度的精准调节,进一步对于检测产品的自动寻找最佳的光照角度,进一步使其扫描的图像更加清楚,本实用新型是通过固定设有柔性的夹持机架进而根据样品室内不同尺寸且不同型号的样品台进行精准地固定,进而实现适用于不同形状的样品台,进而作为辅助装置更加便于拆卸与安装,进一步繁琐的安装步骤进行简单化,内设有转动的动力轴,进而实现对于材料的多个角度与不同位置多组检测,进而使其检测的结果更加准确与稳定。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种用于一体机测试的移动架
当前第 / 件
一种高分辨率扫描电镜固定装置
同领域国内专利 · IPC: (H01J37_20)
H01J37_02
H01J37_06
H01J37_08
H01J37_18
H01J37_20
H01J37_317
H01J37_32
覆盖
7
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委托待转让
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在售
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未申报
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