实用新型已授权

一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置

📄 申请号：CN202520392009.5 📄 发布日：2026/07/07

著录项目信息

申请日

2025-03-07

公开号

CN223783795U

公开日

2026-01-09

申请人

晶格(苏州)真空技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01L21_00

IPC 分类号

G01L21_00

技术画像

所属领域

真空度检测真空检测技术 PVD镀膜设备自动控制系统检测装置真空度检测

应用场景

PVD镀膜, 真空镀膜工艺, 半导体制造, 光学镀膜, 工业真空环境监测

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摘要

本实用新型公开了一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，涉及真空度检测技术领域，该真空度检测装置，包括机体和检测箱，所述检测箱安装在机体的上端；还包括：进气管，其安装在检测箱的外部一侧，且进气管与检测箱内部连通，所述检测箱的另一侧外部设置有出气管，且出气管与检测箱内部连通，所述进气管远离检测箱的一端连接有过滤箱，在连接管和进气管之间设置过滤箱，连接管的另一端与镀膜设备的腔体连接，将腔体内部的气体通过连接管和进气管引入检测箱的内部，气体经过过滤箱时，通过滤芯将气体中含有的细微杂质进行隔离，使气体顺利的进入检测箱中进行检测，从而防止出现气体中细微杂质进入检测箱内部影响检测的结果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种汽车装饰条保护膜压合装置

当前第 / 件

一种半导体真空腔漏气监测装置

同领域国内专利 · IPC: (G01L21_00)

G01L21_00 G01L21_30 覆盖2个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：24 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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