发明专利已授权

一种石英炉门

📄 申请号：CN202411289138.8 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2024-09-14

公开号

CN118794258B

公开日

2024-12-03

申请人

东海县斯米特石英制品有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F27D1_18

IPC 分类号

F27D1_18

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备石英玻璃制品高温热工设备

应用场景

半导体扩散炉, 半导体氧化炉, 光伏电池制造, 集成电路制造

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摘要

本发明涉及石英炉门技术领域，公开了一种石英炉门，包括石英炉本体、石英炉门、固定套，所述石英炉门一侧设置有阻挡机构，所述阻挡机构包括有加热箱、分割板、记忆弹簧、移动杆、楔形板一。本发明通过阻挡机构能够更好的将石英炉门进行关闭和开启，能够在加工生产过程中自动将石英炉门自动锁止，进而操作人员在石英炉内部温度还没恢复到正常温度时无法将石英炉门开启，解决了在实际使用时，在将石英炉门关闭后通过启动石英炉工作对太阳能电池硅片进行加工生产，而由于石英炉在工作时内部的温度会很高，进而在加工完成后余温也会高，此时如果操作人员打开容易被余温伤害的问题，提高了石英炉门的安全性和便捷性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种石英管加工装置

当前第 / 件

一种石英炉门加工的自动切割机

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