实用新型已授权

一种内置干涉镜的激光干涉仪

Name: 一种内置干涉镜的激光干涉仪
Brand: 爱佩仪智能装备有限公司
SKU: 202120985686X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202120985686.X 📄 发布日：2025/11/19

著录项目信息

申请日

2021-05-10

公开号

CN214893078U

公开日

2021-11-26

申请人

爱佩仪智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量光学精密测量精密测量技术

应用场景

精密加工, 半导体制造, 光学检测, 科研实验, 工业自动化

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摘要

本实用新型公开了一种内置干涉镜的激光干涉仪，包括激光干涉仪主体，所述激光干涉仪主体的左侧端口设置有激光头，所述激光干涉仪主体的右侧端口设置有接线口，所述激光干涉仪主体的下端表面设置有磁吸固定盘，所述磁吸固定盘的下端表面设置有一号套筒，所述一号套筒的下端设置有二号套筒，所述一号套筒与二号套筒之间设置有螺纹杆，所述螺纹杆的中部设置有调节螺母。本实用新型所述的一种内置干涉镜的激光干涉仪，具有较好的高度调节的效果，便于激光干涉仪的使用，同时具有较好的减震效果，提高激光干涉仪的使用稳定性。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN214893078U

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种iScan扫描仪

当前第 / 件

一种基于六轴机器人的iScan扫描仪系统

同领域国内专利 · IPC: (G01B9_02)

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