发明专利 已授权

一种压电陶瓷执行器迟滞特性的抑制方法、系统及介质

📄 申请号:CN201811625537.1 📄 发布日:2026/09/28

著录项目信息

申请日
2018-12-28
公开号
CN109557816A
公开日
2019-04-02
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密定位, 智能制造, 光学调整, 半导体制造设备, 机器人

摘要

本发明涉及一种压电陶瓷执行器迟滞特性的抑制方法、系统及介质,方法包括获取压电陶瓷执行器在输入电压下产生的输出位移,并根据输出位移和输入电压建立迟滞模型;对迟滞模型进行参数辨识,得到目标迟滞模型;根据目标迟滞模型设计分数阶滑模控制器,并采用分数阶滑模控制器对压电陶瓷执行器进行控制。本发明由输出位移与输入电压的关系来描述迟滞特性,能更好地描述迟滞特性与压电陶瓷执行器的关系,由分数阶滑模控制器控制压电陶瓷执行器,较好地抑制滑模面的抖动问题,且计算过程少、计算难度低,可以在很大程度上保证对压电陶瓷执行器控制的实时性,控制效果更好,能更有效地抑制压电陶瓷执行器在工作过程中的迟滞特性。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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