发明专利已授权

一种基于量子干涉仪的厚度精密测量装置与方法

📄 申请号：CN202410907245.6 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2024-07-08

公开号

CN119103981B

公开日

2025-03-11

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06

技术画像

所属领域

精密测量装置量子干涉测量精密测量技术厚度测量技术测量装置精密测量装置

应用场景

精密制造, 工业质检, 无损检测, 半导体制造, 高端装备制造

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摘要

本发明涉及精密测量技术领域，公开了一种基于量子干涉仪的厚度精密测量装置与方法，包括纠缠光子源、偏振分束器、反射镜组、单模光纤组。本发明根据Hong‑Ou‑Mande l(HOM)干涉曲线得到样品厚度。具体地，通过将样品的一半放置于光束覆盖范围内，会同时产生两处HOM凹陷，并且在两个HOM凹陷之间会出现一个凸起/凹陷。根据两端HOM凹陷的间距和中间凸起/凹陷的高度/深度分析计算出高精度(4.24nm内)的厚度信息。本发明的测量方法兼具大量程和高精度的优点，大量程由两处HOM凹陷提供,理论上量程可为任意值，高精度由中间的凸起/凹陷提供。本装置还具备较好的稳定性。此外，因为本发明使用的光源是超弱光，因而可以对生物活体样品和生物分子薄膜进行无伤害的测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种含钛MWW结构分子筛的制备方法及其催化环氧化的应用

当前第 / 件

一种基于单物联网MCU的智能楼宇开关控制系统

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_06)

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