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发明专利
已授权
一种半导体石墨切割装置及其切割方法
📄 申请号:CN202010669596.X
📄 发布日:2025/11/10
著录项目信息
申请日
2020-07-13
公开号
CN112060367B
公开日
2022-04-19
申请人
大同新成新材料股份有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
B28D1_22
IPC 分类号
B28D1_22
,
B28D7_00
,
B28D7_04
,
B28D7_02
,
技术画像
所属领域
半导体制造设备
半导体制造设备
切割装置
石墨加工工艺
应用场景
半导体制造, 石墨制品加工, 光伏行业, 电子元器件制造
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摘要
本发明公开了一种半导体石墨切割装置及其切割方法,包括切割机构、收集机构、夹紧机构、底座、刀片固定机构和驱动机构,所述夹紧机构可转动地安装在所述底座上,所述切割机构固定安装在所述夹紧机构上方,所述收集机构很固定设置在所述夹紧机构内部,所述刀片固定机构固定设置在所述切割机构上,所述驱动机构设置在所述底座上。本发明还公开了一种半导体石墨切割装置及其切割方法。本发明设计的支撑板与切割杆相互配合使用可以实现边改变石墨板的方向边进行切割,从而可以达到对石墨板的多角度切割。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
便于半导体石墨制备的成型机及其制备方法
当前第 / 件
一种半导体制冷石墨烯芯片
同领域国内专利 · IPC: (B28D1_22)
B28D1_00
B28D1_02
B28D1_04
B28D1_06
B28D1_08
B28D1_12
B28D1_14
B28D1_16
B28D1_18
B28D1_22
B28D1_24
B28D1_26
B28D1_28
B28D1_30
覆盖
14
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¥18000.0
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委托待转让
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在售
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