实用新型已授权

一种半导体晶圆片存放设备

📄 申请号：CN202323481484.X 📄 发布日：2025/10/27

著录项目信息

申请日

2023-12-19

公开号

CN221394816U

公开日

2024-07-23

申请人

南通迅腾精密设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B65D25_10

IPC 分类号

B65D25_10 , B65D43_22 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备晶圆存储半导体制造

应用场景

半导体制造, 晶圆存储, 晶圆运输, 洁净室管理

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摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆片存放设备，包括箱体，所述箱体具备箱门，所述箱体内部设置转轴，所述转轴上设置圆形结构的存放箱，所述转轴贯穿存放箱中心设置，所述存放箱围绕转轴环形阵列开设多个放置槽，所述放置槽的上下内壁设置多个弧形结构的弹性条，所述存放箱的外部设置多个弧形的密封门，所述密封门组合形成环形结构，所述存放箱的左右侧面环形设置多个弹性插销，且左右弹性插销对称设置为一组，且每组与密封门的数量相对应，对密封门进行锁紧固定。本实用新型通过设置多种尺寸的放置槽，用于分类放置多种规格的晶圆，同时采用弹性条进行固定，且通过设置能够旋转的存放箱便于拿取和放置，方便对晶圆进行统筹管理。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体晶体强度检测装置

当前第 / 件

一种可分区显示的液晶显示屏

同领域国内专利 · IPC: (B65D25_10)

B65D25_00 B65D25_02 B65D25_04 B65D25_06 B65D25_08 B65D25_10 B65D25_14 B65D25_18 B65D25_20 B65D25_22 B65D25_24 B65D25_26 B65D25_28 B65D25_30 B65D25_32 B65D25_34 B65D25_38 B65D25_40 B65D25_42 B65D25_52 B65D25_54 B65D25_56 覆盖22个领域

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