实用新型 已授权

一种多点布局进气环腔体

📄 申请号:CN202422512713.8 📄 发布日:2026/04/02

著录项目信息

申请日
2024-10-17
公开号
CN223338012U
公开日
2025-09-16
申请人
苏州德亚精密科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

航空发动机, 燃气轮机, 工业燃烧设备, 内燃机进气系统

摘要

本实用新型涉及半导体清洁领域,公开了一种多点布局进气环腔体,包括固定机构,所述固定机构包括内固定环和两个磁吸环,所述内固定环内侧靠下端固定设置有内分流环,所述内固定环内部靠上方开设有滑槽,所述固定机构外侧卡接转动设置有旋转机构,所述旋转机构包括外旋转体,所述外旋转体上端靠边缘处开设有多个上进气孔,所述外旋转体周身靠近上进气孔上方部分固定设置有上分流环。本实用新型中,该装置可实现旋流式进气,配合多孔和多方向导向的设计,可使气体更迅速进行扩散,并提高扩散均匀性,通过导向设计可减少进气环厚度对气体流通的影响,可提高清洁效率,降低清洁成本。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20250916
✅ 授权

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B08B13_00 覆盖1个领域

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