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本实用新型提供一种航空发动机的涡轮导向叶片，包括：叶片主体、盖板以及通气孔，叶片主体正面中间和背面中间分别安装有一个盖板，叶片主体内部四周固定有耐热夹层，耐热夹层包括外合金层、隔热层、加固层以及内合金层，外合金层下方设置有隔热层，隔热层下方设置有加固层，加固层下方设置有内合金层，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置耐热夹层，能够进一步提升叶片主体的耐热效果，提升叶片的使用寿命，通过设置支撑板，能够支撑叶片主体内部，提升叶片主体内部的强度。

本实用新型公开了一种航空发动机用排气机匣支架，包括下机匣，所述下机匣的右侧位置处设置有上机匣，所述上机匣的外侧位置处设置有上护罩，所述上护罩的左侧位置处设置有下护罩，所述上护罩的上侧外部位置处设置有顶块，所述顶块的上侧位置处设置有支架主体，所述支架主体包括支架罩、螺纹孔、连接块、嵌入孔、插杆，所述支架罩的下侧位置处设置有连接块，所述连接块的左右两侧内部位置处设置有嵌入孔，所述嵌入孔的内侧上方中间位置处设置有插杆，该新型中，通过支架主体、固定螺栓以及顶块的设置，起到当该结构中任何单体构件被施加力时，都能传递压力，起到分担压力加固稳定的作用，同时安装难度低，工件成本低。

本实用新型涉及半导体清洁领域，公开了一种多点布局进气环腔体，包括固定机构，所述固定机构包括内固定环和两个磁吸环，所述内固定环内侧靠下端固定设置有内分流环，所述内固定环内部靠上方开设有滑槽，所述固定机构外侧卡接转动设置有旋转机构，所述旋转机构包括外旋转体，所述外旋转体上端靠边缘处开设有多个上进气孔，所述外旋转体周身靠近上进气孔上方部分固定设置有上分流环。本实用新型中，该装置可实现旋流式进气，配合多孔和多方向导向的设计，可使气体更迅速进行扩散，并提高扩散均匀性，通过导向设计可减少进气环厚度对气体流通的影响，可提高清洁效率，降低清洁成本。