实用新型已授权

一种光刻机的涂胶装置

Name: 一种光刻机的涂胶装置
Brand: 苏州凯硕机电设备工程有限公司
SKU: 2022221695458
Price: 2200.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222169545.8 📄 发布日：2025/10/20

著录项目信息

申请日

2022-08-17

公开号

CN218854737U

公开日

2023-04-14

申请人

苏州凯硕机电设备工程有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B05C11_02

IPC 分类号

B05C11_02 , B05C13_02 ,

技术画像

所属领域

涂胶装置光刻设备半导体制造设备涂胶工艺涂胶装置

应用场景

半导体制造, 集成电路, 芯片制造, 光刻工艺

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摘要

本实用新型公开了一种光刻机的涂胶装置，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴的下方，挡板的一端朝向所述主轴的中轴线；第一压杆绕销轴转动以使第一压杆的中部搭接在挡板的右端，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等。第一压杆的端部连接有桨片，由于桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等，在晶圆转动过程中，高度过高的光刻胶被桨片推平，多余的光刻胶粘附在桨片上，高度过低的光刻胶区域被填平。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218854737U

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 2200.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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¥2200.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：188 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

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