实用新型已授权

一种台阶仪调平底座及台阶仪

📄 申请号：CN202222456826.1 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2022-09-16

公开号

CN218496077U

公开日

2023-02-17

申请人

苏州凯硕机电设备工程有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01B21_20

IPC 分类号

G01B21_20

技术画像

所属领域

精密测量仪器精密测量仪器调平机构表面形貌测量设备

应用场景

半导体制造, 表面形貌测量, 薄膜厚度检测, 精密加工检测, 科研实验

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种台阶仪调平底座，包括底板，所述底板上方设置有载台，底板的上表面设置有若干螺纹孔，载台的边缘设置有若干通孔，载台与底板之间通过若干螺栓连接，螺栓穿过通孔与螺纹孔螺接；载台上表面放置有工件，载台的下表面边缘与底板上表面之间塞有若干塞片。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：螺栓穿过载台上的通孔与底板上的螺纹孔螺接；载台的下表面边缘与底板上表面之间塞有若干塞片。通过塞片抬升载台的边缘的高度，促使各个方向上的载台边缘高度相同，最终，载台处于水平状态。载台上的工件处于竖直状态，有利于形成准确无误的轮廓，探针测量工件获得的结果更加接近真实情况。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置

当前第 / 件

一种光刻机的涂胶装置

同领域国内专利 · IPC: (G01B21_20)

G01B21_00 G01B21_02 G01B21_04 G01B21_06 G01B21_08 G01B21_10 G01B21_12 G01B21_14 G01B21_16 G01B21_18 G01B21_20 G01B21_22 G01B21_24 G01B21_26 G01B21_28 G01B21_30 G01B21_32 覆盖17个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

¥2200.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：19 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)