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一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法

Name: 一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法
Brand: 湖南文理学院
SKU: 2018111867189
Price: 8420.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201811186718.9 📄 发布日：2025/10/17

著录项目信息

申请日

2018-10-12

公开号

CN109137059B

公开日

2020-10-20

申请人

湖南文理学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C25F3_12

IPC 分类号

C25F3_12 , G02B3_00 ,

技术画像

所属领域

纳米多孔材料纳米多孔材料半导体材料微纳光学器件

应用场景

光学透镜, 光电子器件, 传感器, MEMS器件, 光电探测

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摘要

本发明公开了一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法，该方法是将常规双槽腐蚀时使用两个圆形平板薄铂片作为电极，且在两个平行电极之间放置硅片，硅片轴线、两个圆形平板薄铂片轴线三者重合，硅片离左、右两个电极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；采用恒流源对硅片进行电化学腐蚀形成圆柱形多孔硅薄膜；然后将硅基圆柱形的多孔硅膜浸入氢氧化钠溶液中，并以圆柱形的多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴旋转圆柱形多孔硅，导致在多孔硅圆柱表面形成由多孔硅材料构成的单面凸透镜。通过本发明的方法，能获得纳米多孔硅单面凸透镜，能广泛应用于微机电系统，为微机光电系统领域作出了重大的贡献。

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……

图1

图2

图3

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