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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201811186718.9 | 专利名称: | 一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法 |
申请日: | 2018-10-12 | 申请/专利权人 | 湖南文理学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖南省常德市武陵区洞庭大道3150号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | C25F3/12 分类检索 |
公开/公告日: | 2020-10-20 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN109137059B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 半导体制造技术 纳米材料加工 光学元件制造专利转让搜索 |
应用场景:微型光学器件集成;生物医学成像;光子芯片光路校准
摘 要:本发明公开了一种硅基纳米多孔硅单凸透镜的制备方法,该方法是将常规双槽腐蚀时使用两个圆形平板薄铂片作为电极,且在两个平行电极之间放置硅片,硅片轴线、两个圆形平板薄铂片轴线三者重合,硅片离左、右两个电极的距离相等,硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分;采用恒流源对硅片进行电化学腐蚀形成圆柱形多孔硅薄膜;然后将硅基圆柱形的多孔硅膜浸入氢氧化钠溶液中,并以圆柱形的多孔硅薄膜的中心轴为自旋转轴旋转圆柱形多孔硅,导致在多孔硅圆柱表面形成由多孔硅材料构成的单面凸透镜。通过本发明的方法,能获得纳米多孔硅单面凸透镜,能广泛应用于微机电系统,为微机光电系统领域作出了重大的贡献。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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