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| 专利/申请号： | CN202021697529.0 | 专利名称： | 一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置 |
| 申请日： | 2020-08-14 | 申请/专利权人 | 江苏携尔泰智能设备科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省扬州市邗江区扬州高新技术产业开发区开发西路217号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B5/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-04-20 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213001553U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 4 | 所属领域： | 半导体制造设备 自动化控制技术 RFID技术应用专利转让搜索 |
应用场景：晶圆生产流程追踪与管理;半导体制造自动化;芯片加工过程监控
摘 要：本实用新型涉及RFID晶圆处理技术领域，公开了一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒和风筒；所述风筒顶端中部通过螺栓固定安装有电机，所述电机中部垂直转动设置有转轴，所述转轴外壁上键槽连接有扇叶，所述风筒外壁顶部贯穿开设有通气孔，所述风筒外壁顶部套接有过滤网，所述风筒内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管，所述吹气管位于风筒内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔。本实用新型在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网进行拆卸清理。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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