实用新型已授权

一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置

Name: 一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置
Brand: 江苏携尔泰智能设备科技有限公司
SKU: 2020216975290
Price: 2340.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202021697529.0 📄 发布日：2025/10/10

著录项目信息

申请日

2020-08-14

公开号

CN213001553U

公开日

2021-04-20

申请人

江苏携尔泰智能设备科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B5_02

IPC 分类号

B08B5_02 , B08B13_00 , B01D46_10 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆载盘射频识别技术

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 晶圆输送, 生产过程追溯, 智能制造

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摘要

本实用新型涉及RFID晶圆处理技术领域，公开了一种具有RFID标志载盘的晶圆处理装置，包括除尘筒和风筒；所述风筒顶端中部通过螺栓固定安装有电机，所述电机中部垂直转动设置有转轴，所述转轴外壁上键槽连接有扇叶，所述风筒外壁顶部贯穿开设有通气孔，所述风筒外壁顶部套接有过滤网，所述风筒内腔底端中部垂直贯穿焊接有吹气管，所述吹气管位于风筒内腔部分的外壁中部贯穿开设有出气孔。本实用新型在实际使用的过程中，可以方便快速的清除晶圆表面的灰尘，且清除的更加干净彻底，同时在清除晶圆表面灰尘的过程中可以对灰尘进行收集，避免吹除的灰尘重新落到晶圆表面造成二次污染，而且本装置可以方便的对过滤网进行拆卸清理。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN213001553U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 2340.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种智能家居数据采集用摄像头调节装置

当前第 / 件

一种智能储存分配装置

同领域国内专利 · IPC: (B08B5_02)

B08B5_00 B08B5_02 B08B5_04 覆盖3个领域

¥2340.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：169 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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