发明专利 已授权

一种多晶硅片表面磁力抛光装置

📄 申请号:CN202411131658.6 📄 发布日:2026/08/12

著录项目信息

申请日
2024-08-19
公开号
CN118893560B
公开日
2025-04-04
申请人
江苏福旭科技制造有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

光伏电池制造, 半导体制造, 硅片表面加工, 精密制造, 工业自动化

摘要

本发明属于磁力抛光装置领域,尤其是一种多晶硅片表面磁力抛光装置,现提出如下方案,其包括磁力抛光机;箱体,所述箱体固定安装在磁力抛光机的顶部;盖板,所述盖板处于箱体的顶部;外壳,所述外壳固定安装在盖板的顶部;定位机构和夹持机构,所述定位机构分别与夹持机构和外壳相配合;安装机构和拆卸机构,所述安装机构和拆卸机构的数量为两组,本发明通过将多晶硅片放置在两个夹具的中间,然后再按动伸缩杆和推动控制杆转动,使得控制杆可控制两个夹具相互靠近,实现对多晶硅片的夹持,然后再启动电机,电机就可带动夹具转动,夹具再带动多晶硅片转动,就可实现多晶硅片的角度调节,方便对多晶硅片的其他面进行打磨。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:6 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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