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| 专利/申请号： | CN202210923072.8 | 专利名称： | 应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备 |
| 申请日： | 2022-08-02 | 申请/专利权人 | 苏州米洛微纳电子科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市吴江区黎里镇城司路158号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B3/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-11-08 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN114985359B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 37 | 所属领域： | 半导体制造设备 晶圆清洗技术 加速度传感器生产专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆加工产线;MEMS器件制造流程;惯性传感器量产环节;微纳结构表面处理
摘 要：本发明涉及清洗设备的技术领域，特别是涉及应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备，包括两个导向板组，两个导向板组相互平行，两个导向板组呈倾斜分布，导向板组由外框和内板组成，内板位于外框中部，并且内板外壁与外框内壁组成环形槽，环形槽的左侧设置为弧形，环形槽的右侧设置为方形；通过对晶圆双面和侧壁进行一次性全面清洗处理，可有效简化晶圆清洗方式，降低晶圆单面清洗并翻转的工艺繁琐性，提高清洗效率，同时提高晶圆清洗速度，实现晶圆的连续输送式清洗方式，提高产品加工效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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