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专利详情
实用新型
已授权
高纯pfa隔膜阀
📄 申请号:CN202420995399.0
📄 发布日:2025/09/04
著录项目信息
申请日
2024-05-08
公开号
CN222185869U
公开日
2024-12-17
申请人
华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F16K7_16
IPC 分类号
F16K7_16
,
F16K27_02
,
F16L15_00
,
技术画像
所属领域
隔膜阀
隔膜阀
含氟聚合物材料
高纯流体控制
应用场景
半导体制造, 电子化学品输送, 高纯化学品输送系统, 生物医药
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摘要
本实用新型属于阀门技术领域,尤其为高纯pfa隔膜阀,包括底座,所述底座的顶部安装有阀体,所述阀体的两端均螺纹连接有扩口螺帽,所述阀体的顶部连通固定有气腔外壳,所述气腔外壳的顶部安装有顶盖,所述气腔外壳的内部设置有芯轴。本实用新型通过设置底座、阀体、扩口螺帽、气腔外壳、顶盖、芯轴和密封件,使用此高纯pfa隔膜阀过程中,隔膜阀整体采用pfa材料制成,具有优异的耐腐蚀性和高温性能,从而可适应各种腐蚀性介质和高温的使用环境,并且隔膜阀整体不会对流体造成金属污染,从而可最大限度的减少工艺流体污染的可能性,同时隔膜阀采用气动控制,方便灵活,从而可精确控制流体的流量和压力,以便于满足使用需求。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
高纯ptfe风囊泵
当前第 / 件
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