发明专利已授权

一种自引阻尼真空隔膜阀

📄 申请号：CN201810637316.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-06-20

公开号

CN108730562B

公开日

2019-12-03

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16K7_17

IPC 分类号

F16K7_17 , F16K21_04 ,

技术画像

所属领域

阀门技术阀门技术真空技术机械密封结构

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 化工设备, 制药设备, 分析仪器

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摘要

一种自引阻尼真空隔膜阀，属于真空隔膜阀技术领域。包括隔膜腔、上膜腔、中膜腔，上壳体顶部与大气压或真空系统连接；中壳体底部设置真空通道、阻尼通道和至少一条大气通道，阻尼通道上端出口覆盖挡接设置阻尼块，阻尼块将中膜片压紧在中壳体底部内壁，中膜片与大气通道端口覆盖挡接配合，阻尼块上设置阻尼孔与阻尼通道连通，中壳体中间设置连杆，连杆顶部与上膜片固定连接，连杆与阻尼块中部通孔穿接配合，连杆底部固定设置阀片，阀片与真空通道出口覆盖挡接配合，真空通道另一端连接止回阀，止回阀另一端连接真空端。上述一种自引阻尼真空隔膜阀，开启及关闭具有延时性，保证抽的彻底干净，使用稳定、可靠。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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