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| 专利/申请号： | CN202421733638.1 | 专利名称： | 一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构 |
| 申请日： | 2024-07-22 | 申请/专利权人 | 西安航空学院 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 陕西省西安市西二环259号西安航空学院 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H05H1/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-10-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN221886773U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 29 | 所属领域： | 教学教具专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型涉及一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，包括反应腔室，在反应腔室顶部、侧面安装有固定架，在所述固定架上固定安装有直线电机，直线电机的顶杆与滑轨的连接杆固定，同时与密封波纹管连接，所述滑轨分别在水平、垂直方向布置有两个，交叉部位由滑块连接，所述滑块在滑轨动作时被带动在XY平面移动，所述滑块与朗缪尔探针的探头连接，保证探头与滑块同步移动。本实用新型中的探针基座与探头之间为柔性连接，在两个直线电机的动作下实现反应腔室内二维平面大范围的任意定位，从而实现PEALD反应腔室内等离子体特性在二维平面内的精准检测。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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