实用新型已授权

一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构

Name: 一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构
Brand: 西安航空学院
SKU: 2024217336381
Availability: InStock

📄 申请号：CN202421733638.1 📄 发布日：2025/12/04

著录项目信息

申请日

2024-07-22

公开号

CN221886773U

公开日

2024-10-22

申请人

西安航空学院

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H05H1_00

IPC 分类号

H05H1_00 , C23C16_52 , C23C16_50 , C23C16_455 ,

技术画像

所属领域

等离子体检测技术等离子体检测技术原子层沉积设备半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 原子层沉积工艺监控, 等离子体工艺诊断, 薄膜沉积

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摘要

本实用新型涉及一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，包括反应腔室，在反应腔室顶部、侧面安装有固定架，在所述固定架上固定安装有直线电机，直线电机的顶杆与滑轨的连接杆固定，同时与密封波纹管连接，所述滑轨分别在水平、垂直方向布置有两个，交叉部位由滑块连接，所述滑块在滑轨动作时被带动在XY平面移动，所述滑块与朗缪尔探针的探头连接，保证探头与滑块同步移动。本实用新型中的探针基座与探头之间为柔性连接，在两个直线电机的动作下实现反应腔室内二维平面大范围的任意定位，从而实现PEALD反应腔室内等离子体特性在二维平面内的精准检测。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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