等离子体检测技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

实用新型已授权

本实用新型涉及一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构，包括反应腔室，在反应腔室顶部、侧面安装有固定架，在所述固定架上固定安装有直线电机，直线电机的顶杆与滑轨的连接杆固定，同时与密封波纹管连接，所述滑轨分别在水平、垂直方向布置有两个，交叉部位由滑块连接，所述滑块在滑轨动作时被带动在XY平面移动，所述滑块与朗缪尔探针的探头连接，保证探头与滑块同步移动。本实用新型中的探针基座与探头之间为柔性连接，在两个直线电机的动作下实现反应腔室内二维平面大范围的任意定位，从而实现PEALD反应腔室内等离子体特性在二维平面内的精准检测。

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实用新型已授权

一种用于PEALD反应腔室内等离子体特性的检测结构

2024217336381 · 西安航空学院

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