实用新型已授权

一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置

📄 申请号：CN201921715690.3 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2019-10-14

公开号

CN210933961U

公开日

2020-07-07

申请人

济南鲁晶半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D29_01

IPC 分类号

B01D29_01 , B01D29_52 , B01D29_92 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备电子元器件加工废酸回收处理

应用场景

半导体晶圆制造, 碳化硅器件生产, 电子元器件清洗, 酸洗废液处理, 工业清洗

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。本实用新型在酸洗去除碳化硅电子元器件金属表面的氧化物薄膜的同时重复循环利用酸液。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种编带二极管测试装置

当前第 / 件

一种印字错误半导体去字装置

同领域国内专利 · IPC: (B01D29_01)

B01D29_00 B01D29_01 B01D29_03 B01D29_05 B01D29_075 B01D29_085 B01D29_09 B01D29_11 B01D29_13 B01D29_17 B01D29_19 B01D29_23 B01D29_27 B01D29_31 B01D29_33 B01D29_35 B01D29_37 B01D29_46 B01D29_50 B01D29_52 B01D29_54 B01D29_56 B01D29_58 B01D29_60 B01D29_62 B01D29_64 B01D29_66 B01D29_68 B01D29_72 B01D29_74 B01D29_78 B01D29_82 B01D29_84 B01D29_86 B01D29_88 B01D29_90 B01D29_92 B01D29_94 B01D29_96 覆盖39个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：79 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)