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| 专利/申请号： | CN201921715690.3 | 专利名称： | 一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置 |
| 申请日： | 2019-10-14 | 申请/专利权人 | 济南鲁晶半导体有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市市辖区高新区天辰大街978号中试车间楼301-15室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01D29/01 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-07-07 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN210933961U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 9 | 所属领域： | 电子设备和元器件专利转让搜索 |
应用场景：碳化硅元器件生产过程中的化学清洗；酸液回收与循环利用
摘 要：本实用新型公开一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。本实用新型在酸洗去除碳化硅电子元器件金属表面的氧化物薄膜的同时重复循环利用酸液。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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