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| 专利/申请号： | CN202010111699.4 | 专利名称： | 一种SiC/ZnO纳米异质结压力传感器及其制备方法 |
| 申请日： | 2020-02-24 | 申请/专利权人 | 宁波工程学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省宁波市杭州湾新区滨海二路769号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L41/04 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-08-21 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN111564549A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 55 | 所属领域： | 传感器 压力传感专利转让搜索 |
摘 要：本发明属于传感器技术领域，涉及一种SiC/ZnO纳米异质结压力传感器及其制备方法。所述SiC/ZnO纳米异质结压力传感器的制备方法包括以下步骤：(1)制备SiC/ZnO纳米异质结：将SiC纳米线分散于乙醇溶液中，取含有SiC纳米线的乙醇溶液滴在Si片上，自然晾干；然后将载有SiC纳米线的Si片面朝上放入原子层沉积系统，在惰性气氛中，以二乙基锌和水作为生长ZnO层的前驱体，在SiC纳米线表面生长ZnO层，从而获得SiC/ZnO纳米异质结；(2)压力传感器构建：将载有SiC/ZnO纳米异质结的Si片，在原子力显微镜导电模式下构建Pt/Ir-SiC/ZnO-Si压力传感器。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2021/01/29 | 授权 | |
| 2020/09/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 41/04 专利申请号: 202010111699.4 申请日: 2020.02.24 |
| 2020/08/21 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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