实用新型已授权

一种集成电路清洗设备用钛连轴精密齿轮

📄 申请号：CN202122189052.6 📄 发布日：2025/08/25

著录项目信息

申请日

2021-09-10

公开号

CN216009451U

公开日

2022-03-11

申请人

南通天美机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16H55_17

IPC 分类号

F16H55_17 , F16H55_12 , F16H57_00 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

精密齿轮传动精密齿轮传动钛合金零部件半导体制造设备

应用场景

集成电路清洗, 半导体制造, 精密传动

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摘要

本实用新型涉及一种集成电路清洗设备用钛连轴精密齿轮，包括齿轮，所述齿轮的内部设置有数量为两个的固定块，所述齿轮的正面设置有数量为两个的固定机构，所述固定机构相背的一侧均设置有防松动机构，所述固定块的内部设置有连接轴，所述固定机构包括固定板，两个所述固定板的背面均与齿轮的正面固定连接，所述固定块的正面固定安装有安装板。该集成电路清洗设备用鈦连轴精密齿轮，具有便于更换的功能，在齿轮需要进行更换时，便于快速的将齿轮进行拆卸，省时又省力，减轻了工作人员的负担，提高了维护的效率解决了现有的齿轮不便于进行更换，更换齿轮时耗时又耗力，增加了工作人员负担的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于光催化技术的室内气体净化装置

当前第 / 件

一种耐久增强型PEEK方孔轴心主传动齿轮

同领域国内专利 · IPC: (F16H55_17)

F16H55_08 F16H55_12 F16H55_14 F16H55_17 F16H55_18 F16H55_22 F16H55_24 F16H55_30 F16H55_32 F16H55_34 F16H55_36 F16H55_38 F16H55_46 F16H55_50 F16H55_52 覆盖15个领域

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