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摘 要:本发明涉及一种悬臂梁热电堆及其制备方法。其包括热电堆单体,所述热电堆单体包括衬底以及红外敏感体结构;红外敏感体结构包括器件支撑层、热绝缘层、吸收层以及包裹于热绝缘层与吸收层内的热偶,所述热偶包括若干交替排布的N型热电材料体以及P型热电材料体,所述N型热电材料体与P型热电材料体通过热电材料连接体依次串接;在所述衬底内的上部设置衬底腔,所述衬底腔从衬底的正面向所述衬底的背面方向延伸;位于所述衬底腔正上方的热偶形成热电堆热端区,位于所述衬底腔外的热偶形成热电堆冷端区。本发明结构紧凑,采用悬臂梁结构,降低热导,提高了热电堆的性能,制备工艺与现有IC工艺兼容,降低工艺复杂度以及制备成本,安全可靠。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011022527.6 | 专利名称: | 悬臂梁热电堆及其制备方法 |
申请日: | 2020-09-25 | 申请/专利权人 | 江苏创芯海微科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L35/32搜分类 发电搜索 |
公开/公告日: | 2021-05-14 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112133818B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |