发明专利已授权

悬臂梁热电堆及其制备方法

📄 申请号：CN202011022527.6 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2020-09-25

公开号

CN112133818B

公开日

2021-05-14

申请人

江苏创芯海微科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L35_32

IPC 分类号

H01L35_32 , H01L35_34 , H01L27_16 ,

技术画像

所属领域

微机电系统微机电系统热电堆传感器半导体器件

应用场景

红外测温, 气体检测, 热辐射探测, 医疗测温, 工业过程监控

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摘要

本发明涉及一种悬臂梁热电堆及其制备方法。其包括热电堆单体，所述热电堆单体包括衬底以及红外敏感体结构；红外敏感体结构包括器件支撑层、热绝缘层、吸收层以及包裹于热绝缘层与吸收层内的热偶，所述热偶包括若干交替排布的N型热电材料体以及P型热电材料体，所述N型热电材料体与P型热电材料体通过热电材料连接体依次串接；在所述衬底内的上部设置衬底腔，所述衬底腔从衬底的正面向所述衬底的背面方向延伸；位于所述衬底腔正上方的热偶形成热电堆热端区，位于所述衬底腔外的热偶形成热电堆冷端区。本发明结构紧凑，采用悬臂梁结构，降低热导，提高了热电堆的性能，制备工艺与现有IC工艺兼容，降低工艺复杂度以及制备成本，安全可靠。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210514

✅ 授权

20210112

?? 实质审查的生效：

20201225

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：16 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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