发明专利已授权

一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头

📄 申请号：CN202210078911.0 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2022-01-24

公开号

CN114594282A

公开日

2022-06-07

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q10_00

IPC 分类号

G01Q10_00 , G01Q70_02 , G01Q70_08 ,

技术画像

所属领域

扫描探针显微技术扫描探针显微技术精密扫描机构压电驱动与定位控制

应用场景

纳米表面表征, 材料科学研究, 半导体检测, 精密计量, 科研仪器

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摘要

本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头，显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片，所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接，X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成，结构完全一致，其中一个仅负责X方向形变，Y方向通过粘接薄片使其无法形变；另一个则只负责Y方向形变，X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离，也解决了非正交问题，因此会大大降低扫描畸变。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241029

✅ 授权

20220624

?? 实质审查的生效：

20220607

📄 公开

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