扫描探针显微技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

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本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头，显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片，所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接，X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成，结构完全一致，其中一个仅负责X方向形变，Y方向通过粘接薄片使其无法形变；另一个则只负责Y方向形变，X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离，也解决了非正交问题，因此会大大降低扫描畸变。

📄 2022100789110 📂 G01Q10_00 👤 南京信息工程大学 📅 2022-01-24

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一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头

2022100789110 · 南京信息工程大学

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