实用新型已授权

一种便于取料的光学膜厚测量仪

📄 申请号：CN202321597160.X 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2023-06-21

公开号

CN220170177U

公开日

2023-12-12

申请人

上海仁晶测量技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06 , B25B11_00 ,

技术画像

所属领域

光学测量光学测量薄膜厚度测量自动检测设备

应用场景

半导体制造, 工业质检, 镀膜工艺, 材料检测, 工业自动化

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摘要

本实用新型涉及光学膜厚度测量技术领域，且公开了一种便于取料的光学膜厚测量仪，包括底座，所述底座的顶部设置有连接座，所述底座的顶部设置有位于连接座右侧的立柱，所述底座的顶部设置与连接座右侧壁转动连接的移动组件，所述移动组件与立柱的内部连接，所述立柱的顶部设置有横板，所述横板的底部设置有上激光器。该便于取料的光学膜厚测量仪，通过设置夹持组件，由伺服电机、转动杆、两个收卷辊和牵引绳的配合使用，使得两个第二夹持板下移对光学膜的顶部进行固定夹持，进而实现可以对光学膜进行夹持固定的目的，避免在测量时光学膜产生偏移进而出现测量误差的情况发生，提高了仪器的实用性，便于工作人员使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种显微镜膜厚测量平台

当前第 / 件

一种新型化学仪器的清洗装置（化工）

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_06)

G01B11_00 G01B11_02 G01B11_03 G01B11_04 G01B11_06 G01B11_08 G01B11_12 G01B11_14 G01B11_16 G01B11_22 G01B11_24 G01B11_245 G01B11_25 G01B11_255 G01B11_26 G01B11_27 G01B11_275 G01B11_28 G01B11_30 覆盖19个领域

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