实用新型已授权

一种显微镜膜厚测量平台

📄 申请号：CN202321597139.X 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2023-06-21

公开号

CN220507958U

公开日

2024-02-20

申请人

上海仁晶测量技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06 , B08B1_00 ,

技术画像

所属领域

显微镜光学测量精密仪器薄膜检测测量平台显微镜

应用场景

半导体制造, 薄膜材料检测, 表面处理工艺, 质量控制, 科研实验

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摘要

本实用新型涉及显微镜技术领域，且公开了一种显微镜膜厚测量平台，包括工作板，所述工作板的正面固定安装有水平仪，所述工作板的上表面固定安装有清理箱。该一种显微镜膜厚测量平台，通过伺服电机、传动杆、螺纹输送杆和螺纹块的配合设置，使用时通过伺服电机外接电源带动传动杆进行转动，进而通过传动杆带动螺纹输送杆进行转动，继而通过螺纹输送杆带动螺纹块进行移动，从而起到了便于调节显微镜装置位置的作用，使得提高了该装置的工作效率，通过电动推杆、连接块和工作板的配合设置，使用时通过电动推杆伸缩带动连接块进行移动，进而通过连接块带动工作板进行移动，从而起到了便于调节工作板高度的作用，使得便于工作人员使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种混料装置

当前第 / 件

一种便于取料的光学膜厚测量仪

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_06)

G01B11_00 G01B11_02 G01B11_03 G01B11_04 G01B11_06 G01B11_08 G01B11_12 G01B11_14 G01B11_16 G01B11_22 G01B11_24 G01B11_245 G01B11_25 G01B11_255 G01B11_26 G01B11_27 G01B11_275 G01B11_28 G01B11_30 覆盖19个领域

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