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摘 要:本发明公开了一种宽带光干涉的微观形貌测量装置和方法。所述微观形貌测量采用微观物体干涉图包含的相位信息与高度信息,利用相位与高度的关系,对微观物体的表面进行测量,宽带光干涉信号可以看成是具有包络的单色光干涉信号,该装置是以宽带光作为光源的显微干涉系统,测量方法采用降维思想,在损失很少信息的前提下,把多个可能相互关联的指标转化为少数几个互不相关的指标,其在相位求解的步骤主要包括重组干涉图、获得背景分量、计算协方差矩阵、计算对角化协方差矩阵、得到最显著的分量、最后通过相位解包算法求解相位,该方法使用多幅干涉图恢复出微观物体的相位分布,计算简单且计算速度快,能适应大数据量图像处理等需求。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202111341927.8 | 专利名称: | 一种宽带光干涉的微观形貌测量装置和方法 |
申请日: | 2021-11-12 | 申请/专利权人 | 苏州科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市虎丘区学府路99号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/24搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2023-08-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114061484B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |