发明专利已授权

基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法

📄 申请号：CN202310990770.4 📄 发布日：2026/04/16

著录项目信息

申请日

2023-08-07

公开号

CN117006961B

公开日

2024-09-13

申请人

淮阴师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_14

IPC 分类号

G01B11_14

技术画像

所属领域

光学测量光学测量干涉测量精密测量技术

应用场景

光学元件检测, 精密制造, 半导体设备, 工业自动化检测

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摘要

本发明公开了一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法，属于光学精密测量技术领域；本发明提出一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置，并基于装置设计了一种与之相匹配的间距测量方法，运用相当于可调节厚度的光学平行板的互补型楔形棱镜组，精密调节参与干涉的参考光束单程方向光程差，使测试光束纵向地对被测连续镜面的各镜面依次扫描，测量出连续各镜面间的轴上光程差，获得被测连续镜面中各相邻镜面间的轴上间距。本发明结构简单，实施成本低廉，操作方便，且能够有效提高镜面间距测量的精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240913

✅ 授权

20231124

?? 实质审查的生效：

20231107

📄 公开

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