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摘 要:本发明公开了一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法,属于光学精密测量技术领域;本发明提出一种基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置,并基于装置设计了一种与之相匹配的间距测量方法,运用相当于可调节厚度的光学平行板的互补型楔形棱镜组,精密调节参与干涉的参考光束单程方向光程差,使测试光束纵向地对被测连续镜面的各镜面依次扫描,测量出连续各镜面间的轴上光程差,获得被测连续镜面中各相邻镜面间的轴上间距。本发明结构简单,实施成本低廉,操作方便,且能够有效提高镜面间距测量的精度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202310990770.4 | 专利名称: | 基于低相干光干涉的连续镜面轴上间距测量装置及方法 |
申请日: | 2023-08-07 | 申请/专利权人 | 淮阴师范学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市长江西路111号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/14搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2024-09-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN117006961B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |