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摘 要:本发明提供了一种L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法。该L型静电驱动微型机器人的制造方法包括以下步骤:步骤S10:制备牺牲层;步骤S20:制造处理第一光刻胶层;步骤S30:制造处理第二光刻胶层;步骤S40:对第一光刻胶层、第二光刻胶层的曝光区域进行显影,除去第一光刻胶层和第二光刻胶层的未曝光区域,从而形成L型结构;步骤S50:对远离牺牲层的L型结构的表面溅射沉积导电金属层,并除去牺牲层。应用该L型静电驱动微型机器人的制造方法所制造的微型机器人解决了现有技术中微型机器人无法同时满足微型化、驱动力大、频率响应高、供能方便简单、耗能小、且控制精确的要求的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710034772.0 | 专利名称: | L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法 |
申请日: | 2017-01-18 | 申请/专利权人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B81C1/00搜分类 机器人搜索 |
公开/公告日: | 2017-06-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106829852A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |