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摘 要:本发明涉及场致电子发射领域。为了解决场发射阴极测试与老化过程中电流发射稳定性等问题,本发明提供了一种场发射电子源装置,其包括二极式场发射电子源、真空腔、真空泵机组、高压电源、高压脉冲驱动单元、真空环境监测单元和控制平台。二极式场发射电子源设置于真空腔内,并且,高压电源和高压脉冲单元经真空腔法兰分别连接至二极式场发射电子源的阳极与阴极。控制平台经通讯线缆分别连接至高压电源、真空环境监测单元以及高压脉冲驱动单元。本发明通过对场发射电压进行反馈补偿,从而实现发射电流的稳定控制,具有较强的实用性。本发明还提供了一种利用该装置控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710271213.1 | 专利名称: | 场发射电子源装置 |
申请日: | 2017-04-24 | 申请/专利权人 | 深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01J3/02搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2017-07-18 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106960773A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |