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摘 要:本发明公开了一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置,包括检测电路、数据采集卡、接口转换器、计算机;检测电路包括测量激励电路 、参考电容、主放大器、传感器测量电容、信号解调电路、信号分离电路、校准放大电路。本发明具有适应性强、无射线污染、动态响应好、可以实现非接触测量、自身温度系数小等优点,在非导电介质薄膜厚度在线测量中有广泛应用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201210535561.2 | 专利名称: | 一种共面电容传感器的非导电介质薄膜厚度在线检测装置 |
申请日: | 2012-12-12 | 申请/专利权人 | 山东建筑大学,济南大学,济南亚民自动化仪表有限责任公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市临港开发区凤鸣路山东建筑大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B7/06搜分类 仪器仪表 在线检测搜索 |
公开/公告日: | 2016-05-25 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN102997834B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |