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摘 要:本发明属于透明导电氧化物薄膜领域,涉及一种提高TCO薄膜综合光电特性的激光加工方法;步骤为:将需要掺杂金属或合金薄膜作为源薄膜固定于透明基底上,作为转移基片;同时将TCO薄膜固定于透明玻璃基底上,作为接收基片;转移基片置于接收基片上方0~350μm,且薄膜面相对而放,保证转移基片能够完全覆盖住接收基片;皮秒激光束通过转移基板作用在源薄膜上,将源薄膜加热至熔融或者等离子体状态,从基板上脱离并转移到接收基片上,在TCO膜表面沉积金属粒子;本发明有效的避免了直接在TCO薄膜上进行直接的激光加工操作从而造成的形貌破坏,并且工序简单,可控性高,易于实施,同样适用于微纳加工领域。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910066691.8 | 专利名称: | 一种提高TCO薄膜综合光电特性的激光加工方法 |
申请日: | 2019-01-24 | 申请/专利权人 | 江苏大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省镇江市京口区学府路301号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B41M5/00搜分类 导电薄膜 透明膜搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |