实用新型 已授权

一种抛光设备用抛光槽体

📄 申请号:CN202323508877.5 📄 发布日:2026/06/23

著录项目信息

申请日
2023-12-22
公开号
CN221871587U
公开日
2024-10-22
申请人
李凡
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

化学机械抛光, 半导体晶圆加工, 金属工件抛光, 光学镜片加工, 精密零件表面处理

摘要

本实用新型公开了一种抛光设备用抛光槽体,包括:抛光槽体,所述抛光槽体的内部设置有篮筐,且所述篮筐顶端的两侧皆固定有吊钩,所述抛光槽体的一侧设置有滤箱,所述滤箱的内壁上皆固定有凸台,且所述凸台的表面设置有过滤盘;自动升降机构,所述自动升降机构设置在抛光槽体的另一侧,所述自动升降机构包括机座、双轴电机、转杆、主动锥齿、丝杆、从动锥齿,所述机座固定在抛光槽体远离滤箱一侧的外壁上,所述双轴电机安装在机座底部的中心位置处,所述转杆皆安装在双轴电机的输出端,所述主动锥齿安装在转杆的一端,所述丝杆皆转动安装在机座内部的两侧,所述从动锥齿固定在丝杆的底端。本实用新型便于快速将工件取出,提高了加工效率。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20241022
✅ 授权
¥1900.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:59 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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