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摘 要:本发明公开了一种晶片加工用快速烘干装置,涉及晶片加工技术领域,包括烘干箱体,烘干箱体上设置有控制装置,烘干箱体内设置有烘干框,烘干框侧壁内侧开设有滑动槽;烘干框上设置有支固机构、调节机构和烘干机构。通过设有调节组件使得本装置可根据待烘干晶片的尺寸大小,对横杆两端调节套间的间距进行调节,从而调节热风机的烘干范围,相比于传统的烘干装置不能够根据实际待烘干晶片的尺寸来灵活的调整烘干的范围,导致当烘干范围远大于待烘干的晶片尺寸时,不经使得晶片的烘干效果不佳,而且一定程度上造成了能源的浪费增加了加工成本。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202211337712.3 | 专利名称: | 一种晶片加工用快速烘干装置 |
申请日: | 2022-10-28 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F26B11/18搜分类 半导体 晶圆 芯片 晶片加工搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |