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| 专利/申请号： | CN201911261928.4 | 专利名称： | 一种基于表面等离子激元晶格共振的压力传感器件 |
| 申请日： | 2019-12-10 | 申请/专利权人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01L1/24 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-12-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN110926666B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 33 | 所属领域： | 传感器 压力传感专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及一种基于表面等离激元晶格共振的压力传感器，包括上层硅基板、位于所述上层硅基板下方的纳米结构单元阵列，以及下层金属板，所述纳米结构单元由从上往下依次设置的顶部金属脊、中层介质柱和底部金属脊紧贴叠加构成；所述下层金属板设置在所述底部金属脊的下方，并且所述下层金属板与所述底部金属脊以一定间隔d固定设置。外界压力会作用于下层金属板，进而使器件结构间隔d的大小改变，从而引起表面等离激元共振波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明的光学器件结构大大提高了测量系统的稳定性，可实现对微小形变压力的精准检测，并减少了温度、湿度和电磁干扰对系统信号漂移带来的影响。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/09/03 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2024.08.18 专利权人由中国科学院深圳先进技术研究院变更为天津市昊宁科技服务有限公司 国家或地区由中国变更为中国 地址由518055 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号变更为301600 天津市静海区静海镇禹州尊府24号楼402室 |
| 2021/12/03 | 授权 | |
| 2020/04/21 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01L 1/24 专利申请号: 201911261928.4 申请日: 2019.12.10 |
| 2020/03/27 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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