一种基于表面等离子激元晶格共振的压力传感器件

摘     要：本发明涉及一种基于表面等离激元晶格共振的压力传感器，包括上层硅基板、位于所述上层硅基板下方的纳米结构单元阵列，以及下层金属板，所述纳米结构单元由从上往下依次设置的顶部金属脊、中层介质柱和底部金属脊紧贴叠加构成；所述下层金属板设置在所述底部金属脊的下方，并且所述下层金属板与所述底部金属脊以一定间隔d固定设置。外界压力会作用于下层金属板，进而使器件结构间隔d的大小改变，从而引起表面等离激元共振波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明的光学器件结构大大提高了测量系统的稳定性，可实现对微小形变压力的精准检测，并减少了温度、湿度和电磁干扰对系统信号漂移带来的影响。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注