发明专利已授权

一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法

📄 申请号：CN202011593091.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-12-29

公开号

CN112701023A

公开日

2021-04-23

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01J9_02

IPC 分类号

H01J9_02 , H01J1_304 ,

技术画像

所属领域

场发射冷阴极场发射冷阴极透明导电薄膜柔性电子器件

应用场景

场发射显示器, 柔性显示, X射线源, 真空微电子器件, 平板显示

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摘要

本发明属于场发射冷阴极领域，提供了一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法，其主要特征是在耐高温透明柔性基底上，基于超薄多孔氧化铝(AAO)模板以及真空物理沉积技术，实现在柔性及透光性良好的基底上的场发射冷阴极材料的制备。该制备方法主要包括4部分，(1)在柔性透明基底上沉积导电透明金膜；(2)在沉积金膜的基底上附着AAO模板；(3)利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列；(4)去除AAO模板。本发明的柔性透明场发射冷阴极制备方法简单、成本低、可进行大面积制备，在柔性平板显示器等领域中有广泛的应用前景。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

一种三步烧结法制备致密的小晶粒BaFe12O19铁氧体陶瓷的制备方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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